陈昌武

作品数：1被引量：1H指数：1
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纳米结构硅研究的发展动态被引量：1
《华南师范大学学报（自然科学版）》1998年第1期106-111,共6页陈昌武 王卫乡 
广东省基金
本文综合归类了目前制备纳米结构硅的主要方法：等离子体化学气相沉积．激光诱导化学气相沉积和热蒸发法（制纳米晶硅）及电化学腐蚀法（制多孔硅），给出各种方法的典型参数及其对纳米硅结构的影响，分析了纳米硅结构特征，比较分析了...
关键词：纳米结构 硅 制备方法 光学性能 半导体 
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