激光干涉仪在测长类仪器校准中的运用  

作　　者：方明 

机构地区：[1]南京晨光集团有限责任公司计量中心,南京210006

出　　处：《工业计量》2013年第3期22-23,25,共3页Industrial Metrology

摘　　要：通过对测长类仪器校准过程中激光光路的正确设计,最大限度地消除了校准过程中的各类测量误差,保证校准数据的真实可靠,同时对测长机示值误差校准结果的测量不确定度进行评定。

关 键 词：激光干涉仪 测长机 测长仪 校准 测量不确定度 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程] TH711[机械工程—仪器科学与技术]