CV测试中的一种异常现象及解决方法  

An Abnormal Phenomena and Solution in CV Measure

作　　者：刘剑[1] 吴会利[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第四十七研究所,沈阳110032

出　　处：《微处理机》2013年第3期14-15,共2页Microprocessors

摘　　要：针对半导体CV测试中出现的一种曲线异常现象进行分析,找出问题所在,最终得出解决的办法。并提出一些有利于改进CV测试效果的建议。The analysis is performed for an abnormal phenomena of curve in the bias - temperature step of CV measure, and the reason for the problems is found. The solution is applied to improve the effect of CV measure.

关 键 词：CV测试 曲线异常 温偏实验 

分 类 号：TN4[电子电信—微电子学与固体电子学]