刘剑

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模拟软件在基区方阻实验中的应用
《微处理机》2014年第6期14-16,共3页宋玲玲 刘剑 李浩 
随着IC工艺和器件物理研究的进展以及计算机技术的发展成熟,集成电路模拟软件的功能和应用也同步扩展。目前国内大型生产线上几乎均采用了同类软件,主要用于工艺建模、优化工艺流程,一旦模拟与实验拟合较好,建立模型库,将极大的节省实...
关键词：模拟 工艺 结深 方阻 
乳胶源硼扩散的SENTAURUS模拟
《微处理机》2014年第5期16-17,共2页刘剑 宋玲玲 
利用半导体TCAD工具Sentaurus对硅片的乳胶源掺硼扩散工艺进行模拟,用淀积后的退火处理过程替代注入后退火的模拟方案,以多种实测条件为标准,用两种条件进行模拟,并结合实测数据,对模型结果进行比较,找到模拟的最终可行方案,弥补Sentau...
关键词：乳胶源硼扩散 SENTAURUS模拟 半导体TCAD Sentaurus Process模块 
紫外光电探测器研制
《微处理机》2013年第6期18-19,共2页吴会利 刘剑 申猛 
采用宽带隙半导体材料SiC,进行紫外光电探测器的制备。基于机械性能和化学稳定性考虑,增透抗反膜的制备采用SiO2+Al2O3工艺,同时对其表面钝化层和增透抗反膜工艺进行了研究讨论。
关键词：碳化硅 光电探测器 宽带隙 抗反射 
CV测试中的一种异常现象及解决方法
《微处理机》2013年第3期14-15,共2页刘剑 吴会利 
针对半导体CV测试中出现的一种曲线异常现象进行分析,找出问题所在,最终得出解决的办法。并提出一些有利于改进CV测试效果的建议。
关键词：CV测试 曲线异常 温偏实验 
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