提高氦质谱检漏仪灵敏度的研究  

作　　者：黄文平 

机构地区：[1]合肥皖仪科技股份有限公司,安徽合肥230088

出　　处：《山东工业技术》2013年第6期88-89,共2页Journal of Shandong Industrial Technology

摘　　要：0引言随着真空科学技术的发展．对真空密封的泄漏要求越来越高，也对检测泄漏仪器提出了更高的指标要求。检测泄漏仪器从传统的水检、压降法、卤素法等，发展到目前市场主流的氦质谱法检测。从检测的精度、稳定性与对环境的无任何伤害性等考虑，氦质谱检漏仪已在科学研究、航空航天、汽车制冷、军事工业、分析仪器、核工业、压力容器、精密机械加工、医疗仪器，仪表、高真空和超高真空的工程、半导体等行业得到全面的应用．这些行业中大部分已将氦质谱检漏仪作为检测泄漏的行业标准．在应用的过程中也对氦质谱检漏仪的检测灵敏度指标提出了更高的要求．所以研究如何提高氦质谱检漏仪的灵敏度意义重大。

关 键 词：氦质谱检漏仪 灵敏度指标 真空科学技术 分析仪器 精密机械加工 行业标准 超高真空 真空密封 

分 类 号：TB774.3[一般工业技术—真空技术]