“极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发”项目通过验收  

出　　处：《稀土信息》2013年第6期28-28,共1页Rare Earth Information

摘　　要：4月25日，南北京矿冶研究总院北矿新材科技有限公司为主承担的南困家科技部组织的国际合作项目“极大规模集成电路刻蚀机用高纯氧化钇涂层联合研发”验收会在北京举行。该项目的成功实施，标志着极大规模集成电路芯片制造重大装备关键零部件国产化技术取得了重大突破．

关 键 词：大规模集成电路 高纯氧化钇 研发 涂层 机用 刻蚀 北京矿冶研究总院 国际合作项目 

分 类 号：TN47[电子电信—微电子学与固体电子学]