电弧-磁控复合沉积TiSiN涂层及其切削性能研究  

Cutting Perform ance of TiSiN Coating Deposited With Combined Method of Arc Ion Plating and Magnetron Sputtering

作　　者：李士鹏[1] 邓建新[1] 闫光远[1] 程宏伟[1] 

机构地区：[1]山东大学高效洁净机械制造教育部重点实验室

出　　处：《航空制造技术》2013年第14期72-77,共6页Aeronautical Manufacturing Technology

基　　金：国家自然科学基金(51075237);山东大学自主创新基金(2011JC001);教育部博士点基金(20110131130002)资助

摘　　要：本文通过电弧离子镀一中频磁控溅射复合沉积的方法，采用独立的纯Ti靶和纯Si靶在YS8硬质合金基体上制备了TiSiN涂层。并研究了其化学含量、微观结构、硬度，以及切削45淬火钢时的切削性能，对TiSiN涂层刀具的市场应用具有积极的推动作用。

关 键 词：中频磁控溅射 电弧离子镀 切削性能 涂层刀具 复合沉积 硬质合金基体 微观结构 淬火钢 

分 类 号：TG174.44[金属学及工艺—金属表面处理]