模板法制备SnO_2纳米棒的研究  

作　　者：赵明珠 

机构地区：[1]哈尔滨晶体管厂,黑龙江哈尔滨150018

出　　处：《黑龙江科技信息》2013年第18期11-11,共1页Heilongjiang Science and Technology Information

摘　　要：SnO2是一种重要的宽能级n型半导体金属氧化物,是一种重要的功能材料。制成的SnO2纳米棒可以在传感器方面发挥很大用途,在透明导电薄膜、太阳能电池电极、光催化剂等方面发挥重要作用。实验采用多孔硅为模板,使用直流磁控溅射的方法,向多孔硅的孔柱内溅射Sn,使孔柱内生长了一定厚度的Sn膜。然后进行氧化工艺,生成SnO2。再进行刻蚀工艺,将多孔硅表面的SnO2膜腐蚀掉,再腐蚀一段多孔硅模板,露出一段SnO2柱,在模板上生长出SnO2纳米棒。

关 键 词：SNO2纳米棒 多孔硅模板 磁控溅射 腐蚀 

分 类 号：TN304.055[电子电信—物理电子学]