气相沉积铼的前驱体二聚(二乙酰丙酮合铼酰)的合成与表征  

Synthesis and characterization of bis[oxobis(acetylacetone)rhenium] as precursor for chemical vapor deposition of rhenium

作　　者：王薇[1] 胡劲[1] 王玉天[1] 唐华[1] 赵娜[1] 

机构地区：[1]昆明理工大学材料科学与工程学院,云南昆明650093

出　　处：《化学研究》2013年第4期336-338,共3页Chemical Research

基　　金：国家自然科学基金资助项目(U1037601)

摘　　要：合成了一种新型化学气相沉积铼的前驱体——二聚(二乙酰丙酮合铼酰);采用红外光谱仪、紫外光谱仪、质谱仪及电感耦合等离子体发射光谱仪等对其进行了结构表征.结果表明,乙酰丙酮与铼发生配位反应并成环,从而形成目标前驱体.A new precursor for chemical vapor deposition of rhenium（Re）,bis[oxobis（acetylacetone）rhenium],was synthesized.The structure of as-synthesized product was characterized by means of infrared spectrometry,ultraviolet spectrometry,mass spectrometry and inductance coupled plasma-atomic emission spectrometry.Results show that acetylacetone is chemically coordinated with rheniumviachelating mode to form cyclic structure thereby affording target precursor.

关 键 词：化学气相沉积 铼 前驱体 乙酰丙酮 合成 表征 

分 类 号：O614.7[理学—无机化学]