微机辅助的磁场分布测量  

Magnetic Field Distribution CAM

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作  者:裴念[1] 方建中[1] 张兴义[1] 

机构地区:[1]浙江大学

出  处:《电子测量与仪器学报》1991年第2期9-14,共6页Journal of Electronic Measurement and Instrumentation

摘  要:本文论述了电子显微镜、电子束曝光机、彩色显象管等真空电子设备或器件的磁偏转、磁聚焦线圈的磁场分布参数的实时自动测量,论述了自动测量的硬件系统和软件系统。文中所阐述的微机辅助的磁场分布参数测量,采用了我们研制并通过部级鉴定的磁测仪[1],它是由Apple—Ⅱ微机控制的测量载流线圈空间磁场分布参数的专用装置.This paper deals with the real-time automatic measurement of magnetic field distribution for magnetic deflecting/focusing coils of electronic microscope, electron-beam lithographic equipment, color picture tube, and other vacuum electronic apparatus or devices. It also discusses the hardware and software system for automatic measurement.

关 键 词:微机 磁场 分布参数 测量 

分 类 号:TM936[电气工程—电力电子与电力传动]

 

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