厚膜印刷模型  

Model of Thick Film Screen Printing

作　　者：刘忠安[1] 

机构地区：[1]南京电子器件研究所国家平板显示工程技术研究中心,江苏南京210016

出　　处：《半导体光电》2000年第6期430-432,共3页Semiconductor Optoelectronics

摘　　要：提出了厚膜印刷的物理模型 ,并用静态模型建立了丝网印刷参数和图形的压印形变量之间的关系 ,以解决实际印刷工艺中的图形匹配和精确套印问题。The physical model of thick film screen printing is put forward in this paper.The relation between the printing parameters and the screen deformation is established by approximate method of static model.The overprint and match of different screen printing graph can be realised.

关 键 词：静态模型 厚膜印刷 物理模型 半导体工艺 

分 类 号：TN305[电子电信—物理电子学]