多晶硅钟罩旋转清洗装置研究和设计  

作　　者：顾国宝[1] 王世松 廖福宇 刘枢 

机构地区：[1]昆明冶研新材料股份有限公司

出　　处：《硅谷》2013年第16期12-12,11,共2页

摘　　要：采用改良西门子法生产多晶硅,其中还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备,钟罩的洁净直接影响生产能耗及成本,通过研究设计旋转清洗装置有效解决生产实际问题,为生产提供强有力的保障,为公司节能降耗提供措施。该研究已获得成功并已经申报专利,发明专利号为201310209212.6。

关 键 词：多晶硅 还原炉 氢化炉 清洗装置 

分 类 号：TQ127[化学工程—无机化工]