Cd_(1-y)Zn_yTe晶体组分及均匀性的近红外光谱测试  被引量:2

Study on the Composition and Homogeneity of Cd_(1-y )Zn_yTe by NIR Spectroscopy

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作  者:刘克岳[1] 王金义[1] 杨立华 吴人齐 

机构地区:[1]信息产业部华北光电技术研究所,北京100015

出  处:《分析测试学报》2000年第6期35-38,共4页Journal of Instrumental Analysis

摘  要:阐述了Cd(1-y)ZnyTe晶体组分、组分均匀性测试的重要性及开展近红外光谱研究该晶体组分的必要性。采用日立340型光谱仪对y在 0~0.06的Cd(1-y) ZnyTe晶体作了室温近红外透射光谱研究,得出了有关晶体组分y和截止波长λco的关系方程:y=286.087 8 × 10-2-0.337 2× 10-2λco,测试误差△y≤0.003,通过该研究,为焦平面外延衬底材料Cd(1-y)ZnyTe晶体组分及其均匀性测试提供了一种准确、快速、简便、不破坏样品的检测方法。The imporrtance of Cd (1 - y) ZnyTe crystal composition and homogeneity determination and the necessity. of the application of NIR spectroscopy are described. Transmission -spectroscopic analysis of epitaxy Cd (1 - y) ZnyTe(y = 0 - 0. 06) samples was made with the aid of a Hitachi 340 spectrophotometer (Vis/NIR) at room temperature. A correlation equation was obtained: y = 286. 087 8 × 10 -2 - 0. 337 2 × 10 -2 λco. The composition error △y was found to be ±0. 003. An accurate, fast, simple and convenient nondestructive analytic method is proposed for the determination of the composition and homogeneity of epitaxial Cd (1 - y ) ZnyTe crystals.

关 键 词:近红外光谱 碲锌镉晶体 组分测试 半导体 

分 类 号:TN304.26[电子电信—物理电子学] O657.33[理学—分析化学]

 

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