大口径干涉仪结构初探  

作　　者：贺军峰[1] 华显立[1] 

机构地区：[1]河南工业职业技术学院光电工程系,河南南阳473009

出　　处：《技术与市场》2013年第11期12-12,14,共2页Technology and Market

摘　　要：为解决大尺寸光学元件的面形检测的困难,比较不同形式的干涉仪,最终发现反射式平行光管式的卧式斐索干涉仪的精度较高;设计一款改进的卧式斐索干涉仪,测量精度较高,约为λ/10。该仪器价格低廉、实用性强,可应用于科研、生产等领域的大口径光学元件的面形精确检测。

关 键 词：干涉仪 非球面 精度 

分 类 号：TH744.3[机械工程—光学工程]