MEMS版图绘制方法的研究  

作　　者：庄须叶[1] 吕东锋[1] 陈博[1] 王文婧[1] 王鹏[1] 

机构地区：[1]北方通用电子集团有限公司微电子部,蚌埠233042

出　　处：《集成电路通讯》2013年第3期34-37,共4页

摘　　要：结合复杂结构MEMS版图绘制中的曲面构型，对L—Edit、Covenr、AumCAD多软件联合MEMS版图绘制方法进行了研究。通过设计图形多格式转换的整合重构，完成了角构型曲面结构版图的设计，满足了直接进行工艺仿真的要求，提高了MEMS器件的设计水平和产品研发效率。

关 键 词：L—Edit Coventor AUTO CAD MEMS版图 

分 类 号：TP391.41[自动化与计算机技术—计算机应用技术]