自动阻抗调配器的校准技术探讨  

Explore on Calibration Technology of Automatic Tuner

作　　者：吴爱华[1] 刘晨[1] 栾鹏[1] 孙晓颖[1] 梁法国[1] 郑延秋[1] 

机构地区：[1]中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄050051

出　　处：《宇航计测技术》2013年第5期19-22,共4页Journal of Astronautic Metrology and Measurement

摘　　要：自动阻抗调配器在微电子行业应用越来越广泛,但是目前国内还没有计量技术机构开展该类仪器的计量校准工作,本文介绍了其机械结构、工作原理,设计了控制模型,组建了校准系统,实现了主要参数矢量重复性、驻波比和插入损耗的校准工作。Automatic tuner is widely used more and more in the microelectronics industry, But there are no such measurement institutions to carry out the calibration work of tuner. This paper describes the mechanical structure, working principle and design of the control model, set up a calibration system to a- chieve calibration work of the main parameter vector repeatability, VSWR and insertion loss.

关 键 词：阻抗调配器 矢量重复性 驻波比 插入损耗 

分 类 号：TB973[一般工业技术—计量学]