基于MEMS技术的高密度视网膜假体微电极阵列的研制  

The Research on High-Density Flexible Microelectrode Array of Retinal Prosthesis Based on MEMS Technology

作　　者：冯刚[1] 隋晓红[1] 王昱[1] 李刚[2] 柴新禹[1] 

机构地区：[1]上海交通大学生物医学工程学院,上海市200240 [2]中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海市200050

出　　处：《中国医疗器械杂志》2013年第6期407-410,共4页Chinese Journal of Medical Instrumentation

基　　金：国家重点基础研究发展计划(973项目:2011CB707503/05);国家自然科学基金(61273368);国家高技术研究发展计划(863项目:2009AA04Z326)

摘　　要：提出了一种基于MEMS技术设计和制作应用于视网膜假体的柔性神经微电极阵列的工艺流程,引入离子束刻蚀的工艺大幅度减小了导线和线间的宽度,在单层聚合物上制作了高密度的微电极阵列(120通道,10×12阵列)。对实际制得的微电极阵列测试表明,其在1 kHz频率的电脉冲刺激下阻抗均值为16 kΩ±2 kΩ,相位差均值为-85o±3o,达到了预期设计目标。The paper proposed a new method to design and fabricate a flexible neural microelectrode arrays（MEA） for retinal prosthesis, the Ion-Beam technology was intruduced to decrease the width of conductive wires and the distances between wires, a high density MEA（120 microelectrodes with a matrix of 10 - 12） was fabricated on a single layer of polymer from this. The MEA was proved to possess a fine electrochemical property. In vitro test, the average impedance of M EA on 1 kHz was 16kΩ±2kΩ and the averaqe phase difference was -85°±3°.

关 键 词：视觉假体 视网膜假体 微电极阵列 MEMS 高密度 

分 类 号：R318.18[医药卫生—生物医学工程]