中微MOCVD设备技术性突破大获LED业界认可  

出　　处：《半导体技术》2013年第12期955-955,共1页Semiconductor Technology

摘　　要：上海2013年11月21日电——中微半导体设备有限公司（简称“中微”）的MOCVD设备PrismoD-BlueTM于本月举办的第十五届中国国际工业博览会（简称“工博会”）上荣获银奖。该产品于今年3月正式发布，是此次获奖产品中唯一代表半导体外延工艺的MOCVD设备，该产品技术对于高亮度LED的大规模生产至关重要。作为生产LED芯片的关键设备，MOCVD设备市场一直为欧美企业所垄断。具有自主知识产权的MOCVD设备国产化成功，意味着相关技术长期被国外垄断的局面将被打破，国内LED自主产业生态链也将更加完善。

关 键 词：MOCVD设备 高亮度LED 设备技术 半导体设备 大规模生产 获奖产品 自主知识产权 工业博览会 

分 类 号：TN304.23[电子电信—物理电子学]