微机电系统电容式微位移检测电路研究  

作　　者：刘建新[1] 

机构地区：[1]北京工业职业技术学院,北京100042

出　　处：《煤炭工程》2013年第12期88-90,共3页Coal Engineering

摘　　要：针对通常微机电系统(MEMS)器件或仪表中微小位移/角度等电容式微弱信号检测的需要,提出了一种基于单载波激励和环形二极管解调的方案,主要包含C/V转换、带通滤波,环形二极管解调,差动放大等环节。基于PSpice的仿真与测试实验表明,该电路检测灵敏度可达3.12V/pF,可满足通常MEMS器件的纳米级微位移测量,且具有体积小、功耗低、易集成等特点,对于微加速度计、陀螺仪、压力传感器等具有良好的实用价值。

关 键 词：微机电系统 电容式微位移检测 二极管解调 灵敏度 

分 类 号：TM930[电气工程—电力电子与电力传动]