磁控溅射氧化锡镀膜工艺  

作　　者：郭明 杨建社 

机构地区：[1]金堆城洛阳节能玻璃有限公司

出　　处：《建筑玻璃与工业玻璃》2013年第12期12-16,9,共6页Architectural Glass and Functional Glass

摘　　要：本文通过对磁控溅射氧化锡镀膜工艺的研究，指出在不同溅射功率、不同工艺气体流量下，如何稳定、高效地控制氧化锡磁控溅射镀膜工艺。

关 键 词：磁控溅射 氧化锡 气体流量 阴极电压 

分 类 号：TB43[一般工业技术]