掺铝氧化锌的工艺参数对Low-E面电阻的影响  

作　　者：陈波 

机构地区：[1]上海耀华皮尔金顿玻璃股份有限公司

出　　处：《上海建材》2013年第6期26-27,共2页Shanghai Building Materials

摘　　要：通过改变ZnA10靶的氧气量以及溅射功率,测量Low-E膜层面电阻的变化,分析掺铝氧化锌薄膜对低辐射镀膜玻璃面电阻的影响。

关 键 词：ZnAlO 磁控溅射 面电阻 

分 类 号：TQ171.1[化学工程—玻璃工业]