可深度加工的激光直写技术  

出　　处：《中国光学》2014年第1期175-175,共1页Chinese Optics

摘　　要：研究人员利用双光子聚合法制备了具有亚微米分辩率的有高度的复杂结构。

关 键 词：激光直写技术 深度加工 复杂结构 研究人员 分辩率 亚微米 聚合法 双光子 

分 类 号：TN405[电子电信—微电子学与固体电子学]