正压漏孔校准装置  

Pressure Leak Calibration Apparatus

作　　者：张涤新[1] 李得天[1] 张建军[1] 许珩[1] 冯焱[1] 龚月莉 

机构地区：[1]兰州物理研究所,兰州730000

出　　处：《真空科学与技术》2001年第1期55-59,共5页Vacuum Science and Technology

摘　　要：正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准 ,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准 ,校准范围为 1× 10 2 ～ 5× 10 -5Pa·L/s。

关 键 词：真空计量学 漏率校准 正压漏孔 校准装置 质谱检漏仪 标定 正压检漏 

分 类 号：TB774.3[一般工业技术—真空技术]