流化床法制备粒状多晶硅研究进展  

Research progress in fluidized process for preparation of granular polysilicon

作　　者：陈其国[1] 高建[2] 

机构地区：[1]江苏中能硅业科技发展有限公司,江苏徐州221004 [2]天津工业大学,天津200387

出　　处：《氯碱工业》2014年第1期31-34,38,共5页Chlor-Alkali Industry

摘　　要：综述流化床法制备粒状多晶硅的技术概况及生产技术问题的研究情况。The technological status of fluidized process for preparation of granular polysilicon and studies on technological issues in production are summarized.

关 键 词：多晶硅 流化床法 粒状硅 生产技术 

分 类 号：TQ127.2[化学工程—无机化工]