ITS9000系列超大规模集成电路测试系统检定方法  

Study on Verification Method of ITS9000 Series VLSI Test System

作　　者：沈森祖[1] 石坚[1] 

机构地区：[1]武汉数字工程研究所

出　　处：《航空计测技术》2000年第3期12-14,共3页Aviation Metrology & Measurement Technology

摘　　要：以 ITS90 0 0 MX超大规模集成电路测试系统为背景 ,系统地研究了 ITS90 0 0系列测试系统的检定方法 ,重点描述了它的基本思想、原理和关键技术。The verification method of ITS9000 series VLSI test system based on ITS9000MX VLSI test system is introduced in the paper,and its basic thought,principles and the key technologies are described

关 键 词：检定 校准 测试系统 ITS9000MX 超大规模集成电路 

分 类 号：TN407[电子电信—微电子学与固体电子学]