隧道式加速度传感器的制备  

Preparation of tunneling - based acceleration sensor

作　　者：陈德英[1] 

机构地区：[1]东南大学微电子中心,江苏南京210096

出　　处：《传感器技术》2000年第6期4-6,共3页Journal of Transducer Technology

摘　　要：隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。Tunneling - based acceleration sensor possesses high sensitivity applied to small accaleration measurment. The principle, structure and key technology of tunneling-based acceleration sensor are presented. Experimental results of preparation are also given.

关 键 词：隧道式加速度传感器 扭摆式 工艺制备 工作原理 

分 类 号：TP212[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]