陈德英

作品数：35被引量：60H指数：4
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：MCT新型功率器件二极管扭摆式传感器更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《微电子学》《半导体技术》《微电子学与计算机》《电子器件》更多>>
所获基金：新世纪高等教育教学改革工程江苏省自然科学基金更多>>
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一种压阻式高g值加速度传感器被引量：4
《固体电子学研究与进展》2004年第3期318-321,349,共5页陈德英 茅盘松 张旭 王强 
讨论了硅的压阻效应 ,利用简化的力学模型设计了高 g值压阻加速度传感器的结构参数、工艺流程和版图 ,并制备出样品 ,测试结果表明本传感器加速度可大于 80 0 0 g。
关键词：压阻效应 高G值 加速度传藤器 SOI衬底 硅胶灌注 
辐射敏感PMOS管的研制
《电子器件》2002年第4期345-348,共4页陈德英 蔡振波 姜岩峰 张旭 王成 樊路嘉 
本文根据辐射敏的特点设计了不同沟道长度 (L )和宽长比 (W/ L )的敏感管 ,并给出样品的直流参数的测试结果。
关键词：PMOS管 辐射敏感 阈值电压漂移 阈值吸收剂量 
微电子专业生产实习课程的改革与实践被引量：12
《实验室研究与探索》2002年第5期138-140,共3页樊路嘉 陈德英 
江苏省<新世纪高等教育教学改革工程>资助项目 ;苏教高 [2 0 0 1 ] 97号东南大学教学改革资助项目;校机教 [2 0 0 2 ] 2 7号
介绍了重点工科高校电子类本科生生产实习课程的改革与实践所取得的一些成绩和经验。
关键词：微电子专业 生产实践课程 教学改革 素质教育 流水实验 高等教育 
PMOS辐照检测传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2002年第1期3-6,共4页陈德英 张旭 姜岩峰 樊路嘉 张会珍 余艳玲 
比较了常用的 3种辐照剂量计 ,并详细介绍了PMOS辐照检测传感器的优点、制备工艺、工作模式。
关键词：PMOS 辐照传感器 RAFET 辐射剂量计 
扭摆式微硅隧道加速度传感器被引量：5
《电子器件》2001年第4期285-294,共10页陈德英 茅盘松 史建伟 熊涛 张旭 金肖科 
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
关键词：微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器 
微硅隧道加速度传感器设计被引量：2
《固体电子学研究与进展》2000年第4期350-356,共7页陈德英 茅盘松 史建伟 熊涛 迟姗 张旭 
比较了压阻式、电容式和隧道式加速度传感器的特点 ,提出了扭摆式隧道加速度传感器的结构 ,给出了工作原理和设计模型 ,最后给出了结构尺寸、版图总图及试制的芯片照片。
关键词：微硅 隧道加速度传感器 扭摆式 固支梁结构 
隧道式加速度传感器的制备被引量：2
《传感器技术》2000年第6期4-6,共3页陈德英 
隧道式加速度传感器具有高的灵敏度而被用来测试微小加速度，介绍了扭摆－隧道式加速度传感器的工作原理，结构特点，关键工艺及工艺制备的结果。
关键词：隧道式加速度传感器 扭摆式 工艺制备 工作原理 
新颖角振动微硅陀螺的设计
《固体电子学研究与进展》1999年第4期359-364,共6页陈德英 茅盘松 
国防科工委资助!(87.1.1)
在分析原有双框架式角振动微硅陀螺的基础上，提出了一种新颖的微硅陀螺，给出了工作原理、运动方程及设计尺寸，并分析了新颖陀螺提高灵敏度的途径。
关键词：角振动 微硅陀螺 微机械加工 陀螺 设计 
隧道加速度计的发展概况被引量：4
《电子器件》1999年第3期188-193,共6页史建伟 陈德英 
利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理、特点及发展趋势。
关键词：微加速度计 微机械加工 隧道加速度计 传感器 
微机械加工中的图形硅片键合技术被引量：1
《固体电子学研究与进展》1999年第3期321-328,共8页陈德英 茅盘松 袁璟 
国防科工委"九五"预研项目
重点介绍了在微机械加工中碰到的带图形硅片键合工艺，测量了不同表面处理和不同退火条件下的表面能，估算了封闭腔内的剩余压力和腔体薄壁的形变。
关键词：微机械加工 图形硅片键合 封装 半导体器件 
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