新颖角振动微硅陀螺的设计  

Design of a Novel Angular Vibratory Silicon Micromechanical Gyroscope

作　　者：陈德英[1] 茅盘松[1] 

机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096

出　　处：《固体电子学研究与进展》1999年第4期359-364,共6页Research & Progress of SSE

基　　金：国防科工委资助!(87.1.1)

摘　　要：在分析原有双框架式角振动微硅陀螺的基础上，提出了一种新颖的微硅陀螺，给出了工作原理、运动方程及设计尺寸，并分析了新颖陀螺提高灵敏度的途径。Based on the double gimbal angular vibratory gyroscope, a novel silicon micromechanical gyroscope is presented. The working principle and motion equation are given. The method to improve the sensitivity for the novel gyroscope is analysed.

关 键 词：角振动 微硅陀螺 微机械加工 陀螺 设计 

分 类 号：U666.123[交通运输工程—船舶及航道工程]