隧道加速度计的发展概况  

Review of The Tunneling Accelerometer

作　　者：史建伟[1] 陈德英[1] 

机构地区：[1]东南大学微电子中心,南京210096

出　　处：《电子器件》1999年第3期188-193,共6页Chinese Journal of Electron Devices

摘　　要：利用隧道电流对于位移的敏感性，可以制作高分辨率的加速度计。本文介绍了隧道加速度计的工作原理、特点及发展趋势。New high sensitivity micro accelerometers have been developed based on the extreme sensitivity of electron tunneling. The paper reviews the principles, characteristics. And then the development trends are introduced.

关 键 词：微加速度计 微机械加工 隧道加速度计 传感器 

分 类 号：TH824.401[机械工程—仪器科学与技术] TP212[机械工程—精密仪器及机械]