熊涛

作品数：1被引量：5H指数：1
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发文主题：加速度传感器扭摆式隧道效应微硅基函数更多>>
发文领域：自动化与计算机技术理学电子电信更多>>
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扭摆式微硅隧道加速度传感器被引量：5
《电子器件》2001年第4期285-294,共10页陈德英 茅盘松 史建伟 熊涛 张旭 金肖科 
本文介绍了扭摆式隧道加速度传感器的结构、工作原理、简化的力学模型 ,设计了版图、工艺流程及关键工艺 ,并制备出样品 。
关键词：微硅 扭摆式 隧道效应 加速度传感器 
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