具有丝织构TiN薄膜弹性常数的计算  

作　　者：张铭[1] 何家文[1] 

机构地区：[1]西安交通大学金属材料强度国家重点实验室,西安710049

出　　处：《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》2001年第2期168-172,共5页

基　　金：国家自然科学基金(批准号:59731020)

摘　　要：在利用X射线衍射法测定薄膜残余应力时,因弹性呈现各向异性常发生d-sin^2φ测试曲线的非线性振荡,无法得到准确的应力值.利用Voigt,Reuss和Kroner模型计算了具有丝织构的IiN薄膜的弹性矩阵和X射线弹性常数,计算结果表明当材料具有较强的丝织构时,材料弹性矩阵的对称关系从立方对称转变为六方对称关系,与各向同性同种材料的弹性矩阵相差大,相同分量的值一般相差在13～20 GPa之间;而X射线弹性常数的计算结果差异更大,最大相对误差可达17％.

关 键 词：弹性常数 丝织构 残余应力 薄膜 氮化钛薄膜 

分 类 号：O484.2[理学—固体物理] TB43[理学—物理]