氮化钛薄膜

作品数：104被引量：352H指数：9
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米花型银-氮化钛薄膜SERS基底的制备及罗丹明6G的检测研究
《红外与激光工程》2024年第2期159-167,共9页邸志刚 高建鑫 贾春荣 周昊 李金鑫 刘花菊 魏恒勇 
河北省食品药品监督管理局科技计划重点项目(ZD2015016);河北省教育厅科学技术研究项目(ZD2021332);华北理工大学培育基金项目(SP201502)。
罗丹明6G的痕量检测需要具有较高的灵敏度,为提高SERS基底的增强因子从而提高检测灵敏度,设计了米花型SERS基底,采用有限元法对其拉曼增强效果进行仿真,模拟不同中心球半径r、米花花瓣轴a、b、c以及中心球与花瓣间距d条件下电场强度的变...
关键词：表面增强拉曼光谱 米花型结构 氮化钛薄膜 痕量检测 罗丹明6G 
纳米氮化钛薄膜对高频陶瓷窗片二次电子发射率的影响研究被引量：2
《真空科学与技术学报》2023年第11期960-966,共7页赵毅红 李芳芳 王博锋 叶成聪 缪雨龙 陈海波 陈荣发 
国家自然科学基金项目(51872254);扬州市校合作专项项目(YZ2021151,YZ2021155)。
纳米TiN薄膜可用来抑制高频陶瓷窗片的二次电子倍增,缩短器件高功率老炼时间,提高微波发射性能。文章通过专用真空镀膜设备,采用同轴圆柱靶和平面靶的直流磁控反应溅射方法,通过优化制备工艺参数,在陶瓷窗片的表面成功制备了纳米氮化钛(...
关键词：磁控反应溅射 纳米TiN 薄膜 高频陶瓷窗片 二次电子发射率 
化学气相沉积氮化钛薄膜的研究被引量：1
《山东化工》2023年第20期11-13,18,共4页王俊宝 肖维维 梁兰菊 高炬 
国家自然科学基金(NSFC)(11747027,11974304,61701434);山东省青创团队科技计划团队(2019KJN001);枣庄学院博士启动项目(1020718);横向课题(63501210615);教育部产学合作协同育人项目(22107150115243)。
氮化钛薄膜材料具有优良的性能,应用广阔,总结了化学气相沉积制备氮化钛薄膜的方法和原理,介绍了化学气相沉积在制备氮化钛方面的应用现状和研究成果,分析了各种化学气相沉积方法的优势。
关键词：TIN薄膜 化学气相沉积 制备 
磁控溅射技术制备氮化钛薄膜的研究进展被引量：2
《热加工工艺》2023年第8期6-11,共6页高正源 杨栋 孙程锦 卢再亮 孙鹏飞 
重庆市科技局项目(cstc2019jcyj-msxmX0761);重庆市教委科学技术研究项目(KJQN201800731)。
氮化钛薄膜具有出色的涂层性能,如高硬度、低电阻率和良好的耐蚀耐磨性等,在汽车、航空航天和生物医学中有着广泛的应用。磁控溅射技术因其成本低、沉积速率高以及绿色环保等优势,成为氮化钛薄膜制备的主要技术之一。综述了磁控溅射工...
关键词：磁控溅射 氮化钛薄膜 溅射参数 择优取向 力学性能 
磁控溅射技术制备氮化钛薄膜的研究进展被引量：8
《材料保护》2023年第2期111-119,共9页李昌恒 刘奎仁 魏世丞 韩庆 王博 王玉江 
国家科技重大专项(2017-Ⅶ-0012-0109)资助。
磁控溅射在氮化钛薄膜制备方面具有显著优势,工艺参数对成膜质量影响显著。概述了氮化钛薄膜的晶体结构、物理性质及磁控溅射技术的工作原理及主要分类,重点综述了溅射功率、溅射时间、基底偏压、沉积温度、溅射气压、氮分压等工艺参数...
关键词：氮化钛薄膜 磁控溅射 工艺参数 退火 性能 
Ag/TiN复合薄膜制备及其表面增强拉曼光谱研究被引量：2
《光散射学报》2022年第4期296-305,共10页赵静 冯林杰 裴媛 魏恒勇 李波 吴振刚 李景武 
河北省自然基金(H2022209066);河北省引智项目:拉曼光谱应用于内镜和肿瘤诊断技术的研发;河北省危险化学品安全与控制技术重点实验室开放课题(20211204-5);河北省省属高校基本科研业务费项目(JQN2022015)。
高灵敏基底材料是表面增强拉曼光谱(SERS)技术应用的关键。本研究采用电化学沉积法将氮化钛(TiN)薄膜与贵金属银复合,利用两者协同效应提高SERS灵敏度。借助XRD、SEM、UV-VIS和Raman等测试手段系统探究了电化学沉积参数对复合基底SERS...
关键词：氮化钛薄膜 纳米银 电化学沉积 表面增强拉曼光谱 
中国散裂中子源RCS真空系统被引量：2
《真空》2021年第3期1-6,共6页谭彪 黄涛 王鹏程 刘佳明 关玉慧 刘顺明 孙晓阳 董海义 
国家“十一五”重大科技基础设施建设项目中国散裂中子源工程((2008)2578)。
快循环同步加速器(RCS)作为中国散裂中子源(CSNS)的重要组成部分,主要功能是接受来自直线加速器加速至80MeV的负氢离子束,通过剥离膜转换成质子束并累计加速到1.6GeV引出,经RTBT传输至靶站打靶产生中子。RCS真空系统是实现这一功能的重...
关键词：中国散裂中子源 RCS真空 陶瓷真空盒 RF屏蔽 氮化钛薄膜 
氮化钛薄膜研究进展被引量：3
《装备机械》2020年第4期1-7,27,共8页赵子彤 鞠洪博 刘晨凯 喻利花 许俊华 
国家自然科学基金青年基金资助项目(编号:51801081);江苏省本科生创新计划项目(编号:202010289018Y)。
以氮化钛为代表的过渡族金属氮化物具有优良性能,应用前景广阔。对薄膜的制备技术进行了论述,对薄膜的表征问题进行了分析,并从显微硬度、磨损性能、耐腐蚀性能等方面介绍了氮化钛薄膜的研究进展。对纳米多层薄膜的调制结构和界面结构...
关键词：氮化钛 薄膜 研究 综述 
高功率微脉冲磁控溅射制备氮化钛薄膜及其腐蚀性能研究
《中国金属通报》2020年第9期168-169,共2页孟树文 张斌 
利用高功率微脉冲磁控溅射技术,在不锈钢表面制备了TiNx薄膜。所获得的TiNx薄膜光滑且致密,具有(220)晶体取向。通过电化学工作站在3.5%wt的NaCl和0.5mol/L的H2SO4溶液中测试了其耐腐蚀性能。结果表明,在上述溶液中,钢基底表面沉积TiNx...
关键词：高功率微脉冲磁控溅射 TiNx 
氮氩气流量比对磁控溅射氮化钛薄膜微观结构的影响被引量：4
《电镀与涂饰》2020年第7期405-409,共5页王槐乾 姜宏伟 黄海亮 王方标 左桂鸿 郑友进 
黑龙江省自然基金(LH2019E126);牡丹江师范学院项目(GP201605);黑龙江省高等教育教学改革项目(SJGY20180528)。
采用扫描电镜(SEM)和X射线衍射仪(XRD)研究了氮气流量(5、10、25、50 sccm)及氮氩气流量比(4∶1、3∶2、2∶3、1∶4)对磁控溅射TiN薄膜微观形貌和相组成的影响。结果显示,所得样品具有纳米级TiN薄膜的基本特征。当N2与Ar的总流量为5 sc...
关键词：氮化钛 磁控溅射 氮气 氩气 流量比 微观结构 颜色 
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