二代微通道板(MCP)放气成份质谱分析  

MASS SPECTRUM ANALYSIS OF RELEASING GAS COMPOSITION OF Ⅱ GENERATION MCP

作　　者：徐江涛[1] 

机构地区：[1]西安应用光学研究所,陕西西安710100

出　　处：《应用光学》2000年第5期1-4,共4页Journal of Applied Optics

摘　　要：模拟二代微光管制管工艺 ,对 MCP经不同工艺处理后的放气成份进行分析 ,发现工艺质量本身是造成 MCP污染的主要因素。经改进工艺 ,提高了制管成品率和管子性能。The releasing gas compositions of MCP processed by different technological proesses are analysed by the simulation of a tube making process of Ⅱ generation low light level tube.

关 键 词：微通道板 微光管 工艺处理 放气成份 质谱 

分 类 号：TN223[电子电信—物理电子学]