NH3等离子体预处理对PECVD产生的TiN涂层性能的影响  

作　　者：乐天 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第11期20-22,共3页

关 键 词：氨等离子体预处理 PECVD 氮化钛涂层 高速钢 

分 类 号：TG174.45[金属学及工艺—金属表面处理]