用于IPVD的螺旋波等离子体源  

作　　者：李兵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第10期13-15,共3页

关 键 词：电离物理气相沉积 螺旋波天线 等离子体源 半导体 沉积 铜 

分 类 号：TN304.05[电子电信—物理电子学] TL629.1[核科学技术—核技术及应用]