用表面来提高微波氧等离子体的密度  

作　　者：拾灵 

出　　处：《等离子体应用技术快报》2000年第10期18-19,共2页

关 键 词：微波氧等离子体 密度 表面波 等离子体源 

分 类 号：O53[理学—等离子体物理] TL629.1[理学—物理]