MEMS传感器及其在航空领域的应用  

作　　者：樊建勋[1] 

机构地区：[1]海军驻阎良地区航空军事代表室,陕西省西安市710089

出　　处：《电子技术与软件工程》2014年第4期259-260,共2页ELECTRONIC TECHNOLOGY & SOFTWARE ENGINEERING

摘　　要：MEMS(Micro Electro Mechanical Systems,微电子机械系统)一般指1μm^100μm的系统,是一种以半导体制造技术为基础的多学科交叉的前沿高新技术。MEMS传感器具有小型化、多功能、低成本、高可靠性的特点。由于航空工业对器件功能密度,可靠性等要求较高,这使MEMS传感器技术在航空领域得到广泛应用,同时也极大地促进了航空技术的发展。

关 键 词：MEMS 传感器 航空 

分 类 号：TH-39[机械工程] V243[航空宇航科学与技术—飞行器设计]