磷杂质分布优化方法的研究  

作　　者：董鹏 屈小勇 张治 宋志成 

机构地区：[1]中电投西安太阳能电力有限公司

出　　处：《太阳能》2014年第3期31-33,共3页Solar Energy

摘　　要：以优化磷在硅中杂质分布的工艺方案为研究对象,通过扩散机理分析和实验研究的方法,对影响磷杂质分布型的关键因子进行理论探讨与实验验证。研究结果表明:硅中电子浓度与荷电空位是影响磷杂质分布的主要因子,通过扩散工艺调节实现了低表面浓度、浅结的杂质分布,为提高晶硅电池的转化效率和批量生产提供了可能。

关 键 词：晶硅电池 磷杂质 扩散 杂质浓度分布 发射极 

分 类 号：TM914.4[电气工程—电力电子与电力传动]