基于故障物理的MEMS可靠性研究  

Study on MEMS Reliability Based on Physics of Failure

作　　者：高杨[1,2] 刘婷婷[3] 李君儒[3] 何婉婧[3] 

机构地区：[1]中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900 [2]重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室,重庆400044 [3]西南科技大学信息工程学院,四川绵阳621010

出　　处：《半导体光电》2014年第2期214-220,224,共8页Semiconductor Optoelectronics

基　　金：中国工程物理研究院超精密加工技术重点实验室基金项目(2012CJMZZ00009);重庆大学新型微纳器件与系统技术国防重点学科实验室访问学者基金项目(2013MS04);西南科技大学制造过程测试技术省部共建教育部重点实验室开放课题(11ZXZK03);西南科技大学研究生创新基金项目(13ycjj31;13ycjj36)

摘　　要：简要介绍了基于故障物理的MEMS(Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)可靠性研究方法和技术路线。以电容式RF MEMS开关为例,介绍了基于故障物理的MEMS可靠性研究方法的主要步骤,包括:采用多物理场3D有限元模型研究MEMS器件的行为,应用MEMS器件的行为模型和失效物理试验技术研究其失效机理,引入优值建立了通用的MEMS器件失效预测模型。Briefly described are reliability research methods and roadmap of the PoF-based MEMS （Micro-electro-mechanical systems）. Using the capacitive RF MEMS switch as an example, main steps of the method are described, including the flowing steps： to study the MEMS devices＇behaviors with the 3D multi-physics devices＇ failure mechanism with its behavior model establish a common MEMS device failure prediction merit. finite element models, to study the MEMS and the PoF experiment technology, and to model with some certain introduced figure of

关 键 词：微电子机械系统 可靠性 故障物理 电容式RF MEMS开关 

分 类 号：TN406[电子电信—微电子学与固体电子学]