一种修正子孔径拼接中系统误差的方法  

A Method to Modify Systematic Errors in the Stitching

作　　者：周游[1] 王青[2] 刘世杰[1] 

机构地区：[1]中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室,上海201800 [2]南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094

出　　处：《激光与光电子学进展》2014年第5期104-109,共6页Laser & Optoelectronics Progress

基　　金：国家自然科学基金(11104295)

摘　　要：通过对子孔径拼接中系统误差放大效应的分析研究,提出一种修正由干涉仪参考平晶引入的系统误差的方法。该方法只需利用三面互检获取参考平晶在拼接轴上(水平和垂直方向)的面形数据,再用该数据构建参考平晶的面形误差修正波面,即运用Zernike多项式(离焦和像散项)对误差修正波面进行低阶二次曲面的拟合,并在子孔径拼接测量中进行实时修正。实验证明,该方法能够消除由干涉仪参考平晶所引起的系统误差对拼接的影响,有效提高拼接波面的精度。This paper describes a method that can correct systematic errors in the subaperture stitching measurement after analyzing the absolute test of three-flat testing. The testing gets a vertical profile of data and horizontal profile of data along the diameter of the reference fiat, and then using the data to fit an error correction wavefront of the reference flat, namely the use of Zernike polynomials （defocus and ast） for low level fitting. Experiments show that this method can eliminate the systematic errors caused by the interferometer reference flat, and effectively improve the accuracy of wavefront stitching.

关 键 词：子孔径拼接 系统误差 三面互检 Zernike多项式拟合 

分 类 号：O436[机械工程—光学工程]