基于Edlén公式空气折射率测量系统的校准研究  

Calibration on Measurement System for the Refractive Index of Air Based on Edlen Formula

作　　者：崔建军[1] 刘香斌[2] 康岩辉[2] 张恒[2] 李建双[1,2] 

机构地区：[1]天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津300072 [2]中国计量科学研究院,北京100013

出　　处：《计量学报》2014年第3期210-215,共6页Acta Metrologica Sinica

基　　金：基金项目：国家科技重大专项（2011ZX04002-062）,浙江省重中之重学科（机械设计及理论）及浙江理工大学重点实验室开放基金（ZSTUMD2012A005）

摘　　要：为了检验对激光干涉仪测量精度有很大影响的空气折射率测量系统的测试性能，提出一种可用于基于Edlen公式的空气折射率测量系统的校准方法，并且设计了专门的校准装置，该装置主要由温度、气压以及湿度测量系统组成。实验证明：取包含因子％=2时，温度在（5—40）℃区间，测量不确定度u优于0．02℃；气压在（66～105）kPa区间，U=18Pa；湿度在（10—90）％RH区间，U=2．0％RH，等效于整个系统对应的空气折射率测量的相对不确定度优于1×10^-7。To verify the performance of refractive index of air measurement system, which has a great influence for accuracy of laser interferometer, one kind of calibration approach is presented for the refractive index of air measurement system of laser interferometer. One special calibration setup is designed which consists of temperature, air pressure and humidity sensors and it is based on Edlen formula to measure the refractive index of air indirectly. Experiment shows that the temperature uncertainty is less than 0. 02℃ in （5 - 40）℃, uncertainty of air pressure is 18 Pa in （60 - 110） kPa and uncertainty of air humidity is 2.0% RH in （ 10 - 90） % RH. The relative expend uncertainty of whole system for refractive index of air is 1×10^-7, where cover factor k = 2.

关 键 词：计量学 空气折射率 激光干涉 测量不确定度 

分 类 号：TB921[一般工业技术—计量学]