新型大容量涡轮分子真空泵  

The New Turbine Molecular Vacuum Pump with Large Capacity

出　　处：《办公自动化（综合月刊）》2014年第4期19-19,共1页Office Informatization

摘　　要：Edwards Limited是一家全球领先的真空设备和尾气处理系统制造商及相关增值服务提供商,该公司推出了其STP-iXA4506大容量涡轮分子泵（TMP）.这款产品旨在为半导体、平板显示器、LED和太阳能电池板制造商节省更多成本.

关 键 词：涡轮分子泵 大容量 分子真空泵 增值服务提供商 尾气处理系统 太阳能电池板 平板显示器 真空设备 

分 类 号：TN929.5[电子电信—通信与信息系统]