大尺寸ZnS真空气相沉积炉的研制  

Development of vacuum chemical vapor deposition furnace for large size ZnS

作　　者：张延宾[1] 王征[1] 陈昊[1] 石红春 张树玉 

机构地区：[1]北京有色金属研究总院,北京100088 [2]北京国晶辉红外光学科技有限公司,北京100088

出　　处：《真空》2014年第3期37-40,共4页Vacuum

摘　　要：介绍了CVD ZnS生产工艺、真空气相沉积炉技术性能、设备结构组成及特点。该真空气相沉积炉是制备大尺寸ZnS的关键设备,它生产的CVD ZnS板料尺寸达到了1800 mm(长)×800 mm(宽)×25 mm(厚),单炉产量为1000 kg,是国内生产ZnS板坯料尺寸最大、单炉产量最多的设备。The CVD ZnS production process and technical performance,mechanical structural characteristics of the vacuum chemical vapor deposition furnace were introduced.The workpiece dimension is 1800 m m（length）×800 m m（width）×25 m m（thickness）,the output is 1000 kg per furnace.It is a key equipment for large size CVD ZnS production and also the largest furnace in domestic.

关 键 词：真空 气相沉积炉 CVD ZNS 

分 类 号：TB79[一般工业技术—真空技术] TM924.36[电气工程—电力电子与电力传动]