电子显微镜真空系统常见故障及对策  

Common Technical Hitches in the Vacuum System of Electron Microscope and the Way of Dealing with

作　　者：朱宇[1] 

机构地区：[1]内蒙古大学实验测试中心,内蒙古呼和浩特010021

出　　处：《内蒙古大学学报（自然科学版）》2001年第2期234-235,共2页Journal of Inner Mongolia University：Natural Science Edition

摘　　要：真空度的高低 ,直接影响成像质量 。The degree of vacuum in electron microscope directly affects the quality of the image formation.The common technical hitches and the method of removal are introduced.

关 键 词：真空系统 故障 电子显微镜 真空度 排除方法 真空检漏 镜筒 

分 类 号：TN16[电子电信—物理电子学]