用X—射线双晶衍射仪测定晶片的曲率  

作　　者：张龙生[1] 

机构地区：[1]上海市计量测试技术研究院

出　　处：《上海计量测试》2000年第6期24-24,28,共2页Shanghai Measurement and Testing

关 键 词：晶片 曲率测量 弯曲形弯 X-射线双晶衍射仪 单晶体 

分 类 号：TH744[机械工程—光学工程]