毛细管电泳芯片的制造  

Microfabrication of Capillary Electrophoresis chips

作　　者：汤扬华[1] 周兆英[1] 叶雄英[1] 冯焱颖[1] 金亚[1] 

机构地区：[1]清华大学精仪系,北京100084

出　　处：《微细加工技术》2001年第1期62-66,共5页Microfabrication Technology

基　　金：国家自然科学基金!资助项目 (2 98330 70 )

摘　　要：研究了在平整的玻璃上制作微管道的方法和玻璃 -玻璃键合技术 ;讨论了腐蚀条件对玻璃的腐蚀速率和微管道表面形貌的影响。玻璃键合采用热键合 ,键合温度为 6 2 0℃ ,得到的键合面剪切强度为玻璃本身剪切强度的 0 44倍。在电泳芯片上实现了样品的分离。Micromachining of micro channels on planar glass and glass bonding are described.The effect of etching conditions on the etching speed and channel surface profiles is discussed.The shear strength of glass bonding is about 0.44times that of glass with glass?to?glass thermal bonding in 620℃.The sample separation has beew finished on the chip.

关 键 词：湿法刻蚀 毛细管 电冰芯片 玻璃 专用集成电路 

分 类 号：TN492[电子电信—微电子学与固体电子学]