高纯六氟化钨中气相杂质分析方法研究  

Analysis Method Study of Gaseous Impurities in WF_6 of Super-purity

作　　者：孙秋丽[1] 郑秋艳[1] 张净普[1] 李翔宇[1] 柳彤[1] 

机构地区：[1]中国船舶重工集团公司第七一八研究所,河北邯郸056027

出　　处：《舰船防化》2014年第2期10-13,共4页

摘　　要：本文选择配备氦离子化检测器的气相色谱分析高纯WF6(99.999%)中微量气体杂质。设计了一套双通道反吹气路,采用十通阀切换实现了六氟化钨与气相轻组分分离后的反吹,避免了六氟化钨对分析柱及检测器的腐蚀。通过实验选择最佳的色谱参数条件及反吹时间,分别采用不同的气路系统实现了WF6中的微量CF4、CO2、SF6及O2+Ar、N2、CO的分离分析。In this paper, a method of GC with pulsed discharged helium ionization detector （PDHID） is selected to analyze trace gaseous impurities in WF6 of super-purity （99.999%）. A dual-channel analytical system is designed to blow WF6 out of the system after separation with light components by switching the ten-way valve. With this design, we can avoid the corrosion of analytical column and detector. The optimum GC parameter and back-blowing time are selected by experiment. By using different gas path, we achieve the separation and analysis of trace CF4, CO2, SF6 and O2＋Ar, N2, CO in WF6.

关 键 词：六氟化钨 气相色谱 氦离子化检测器 反吹 

分 类 号：TQ163.13[化学工程—高温制品工业]