六氟化钨

作品数：56被引量：75H指数：6
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三星NAND材料价值链生变 将引入钼元素
《中国钼业》2024年第4期20-20,共1页
三星正在其第9代V-NAND的金属化工艺过程中应用钼(Mo)。消息人士称,三星已从泛林集团引进5台钼沉积机用于该工艺,并且计划2025年再引进20台此类设备。与六氟化钨(WF_(6))不同的是,钼前驱体是固体,需要使用这些设备将其加热到600℃,以转...
关键词：NAND 六氟化钨 钼元素 价值链 三星 
专利技术
《低温与特气》2024年第1期37-37,40,共2页
一种六氟化钨纯化装置申请(专利)号:CN202322145782.5公开(公告)日:2024-02-20申请(专权)人:昊华气体有限公司摘要:本实用新型公开了一种六氟化钨纯化装置,包括筒体、热媒夹套、冷媒盘管、波纹管密封模块;筒体包括上封头、下封头以及中...
关键词：六氟化钨 上封头 夹套 纯化装置 实用新型 模块设置 专利技术 热媒 
富集^(186)W同位素的氧化钨制备工艺研究
《同位素》2023年第5期550-556,共7页周红艳 石鹏远 王晶 王珂 李于教 
富集氧化钨是^(186)W的稳定同位素产品之一,主要用于制备放射性医用同位素产品^(188)WO_(3),^(188)WO_(3)能够用作^(188)W/^(188)Re发生器的靶料,生产^(188)Re医用同位素产品,用于生物医学标记、骨癌治疗等医学应用。为满足当前富集^(18...
关键词：氧化钨-186 六氟化钨-186 制备工艺 工艺参数 
几种含氟电子气体发展的思考被引量：3
《化学推进剂与高分子材料》2020年第2期1-4,27,共5页牛学坤 杨茂良 周宪峰 
介绍了三氟化氮、六氟化钨、四氟化碳、电子级六氟化硫等几种含氟电子气体在半导体、平板显示等领域的应用。对相关行业发展的现状和前景进行了分析和预测,讨论了行业发展的潜在风险。
关键词：含氟电子气体 三氟化氮 六氟化钨 四氟化碳 电子级六氟化硫 
高纯六氟化钨的制备技术研究进展被引量：1
《低温与特气》2020年第1期1-5,共5页缪光武 白占旗 张金柯 何双材 曾群 胡欣 刘武灿 
随着电子工业迅速发展,六氟化钨被广泛应用于半导体行业,其需求量日益扩大,对其纯度要求也越来越苛刻。综述了现有六氟化钨最常用的制备及纯化方法,分析了这四种纯化方法各自优缺点。在实际生产中,应根据六氟化钨中所含杂质的种类,联用...
关键词：六氟化钨 制备 纯化 电子气体 
六氟化钨制备工艺及产业前景分析被引量：2
《化工设计通讯》2019年第5期104-104,共1页安晶 
对六氟化钨制备方式,产品质量标准以及测定方式进行研究,并就该物质在工业中的应用前景进行简要分析。希.
关键词：六氟化钨 制备工艺 提纯分析 研究进展 
六氟化钨生产工艺中真空系统的改进
《化学推进剂与高分子材料》2018年第3期87-90,共4页李金勇 李立远 汤月贞 黄晓磊 张金彪 
分析六氟化钨生产工艺中真空系统出现故障的原因,提出相应的改造方案。结果表明：通过对真空泵的选型,使真空系统绝对真空度≤10 Pa,选择2台爪式真空泵的并联使用方式,相互切换使用,解决真空泵出现故障时只能停车处理的弊端;通过增加真...
关键词：真空系统 爪式真空泵 工艺改进 六氟化钨 
一种六氟化钨的合成方法
《低温与特气》2017年第4期30-30,共1页
申请（专利）号：201710358430．4 公开（公告）日：2017-07-25 申请（专利权）人：江苏和福特种气体有限公司 摘要：一种六氟化钨的合成方法。它是将钨粉与金属氟化物装入反应器中充分混合，在反应条件下通人氟气进行反应合成六氟...
关键词：六氟化钨 合成方法 金属氟化物 反应器 特种气体 反应合成 反应条件 气液分离 
浅析六氟化钨的腐蚀性
《科技创新导报》2017年第9期102-103,共2页王建军 
随着电子工业的快速发展,六氟化钨作为一种重要的强氟化剂起着重要的作用,但其具有较强的腐蚀性,对不锈钢的生产和储存有着一定的影响。该文通过实验对比表明,密度较低的304不锈钢比密度较高的316L不锈钢在相同的环境和条件下更加容易...
关键词：六氟化钨 不锈钢 腐蚀性 
六氟化钨中微量氟化氢的红外光谱分析被引量：5
《化学推进剂与高分子材料》2016年第4期87-90,共4页汤月贞 李金勇 袁胜芳 张金彪 黄晓磊 
采用红外光谱法对六氟化钨（WF6）中的氟化氢（HF）进行定量分析,HF共有8个吸收峰,考虑定量的灵敏度及避免测定干扰,选择波数4 039.2 cm–1作为HF的定量峰位。通过测定不同含量的HF标准气体,建立其含量与定量峰位的吸光度相对应的标准...
关键词：六氟化钨 红外光谱 氟化氢 标准气体 
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