三星NAND材料价值链生变 将引入钼元素  

出　　处：《中国钼业》2024年第4期20-20,共1页China Molybdenum Industry

摘　　要：三星正在其第9代V-NAND的金属化工艺过程中应用钼(Mo)。消息人士称,三星已从泛林集团引进5台钼沉积机用于该工艺,并且计划2025年再引进20台此类设备。与六氟化钨(WF_(6))不同的是,钼前驱体是固体,需要使用这些设备将其加热到600℃,以转化为气体。在三星的第9代V-NAND生产中,一种应用使用钨,另一种应用使用钼。

关 键 词：NAND 六氟化钨 钼元素 价值链 三星 

分 类 号：TN304.1[电子电信—物理电子学] TG146.412[一般工业技术—材料科学与工程]