四氟化碳

作品数：84被引量：211H指数：7
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四氟化碳分子电离解离过程中的异构化动力学被引量：1
《原子与分子物理学报》2024年第4期1-5,共5页涂宁远 陈磊 赵文超 单旭 王恩亮 陈向军 
国家自然科学基金(12204454)。
采用离子动量成像谱仪研究了能量为1.0 ke V的电子束碰撞条件下CF_(4)分子的解离动力学.实验上,对解离离子的三维动量进行了成像测量,通过离子飞行时间关联谱识别了CF_(4)^(2+)异构化生成F_(2)^(+)分子的两个通道:F_(2)^(+)+CF_(2)^(+)...
关键词：四氟化碳 异构化 分子解离动力学 
氙气中氟化物分析方法研究
《深冷技术》2023年第7期88-93,共6页刘汉兵 查玲 万芳 韩曦 程效明 周艳 
氙气中含有多种氟化物杂质,标准中对氟化物含量要求不明确,导致氙气产品中氟化物含量超标。文章针对氙气中三种氟化物杂质的检测方法,研究出一种能够同时准确检测出四氟化碳(CF_(4))、六氟乙烷(C_(2)F_(6))及六氟化硫(SF_(6))的气相色谱...
关键词：氙气 四氟化碳 六氟乙烷 六氟化硫 检测分析 气相色谱 
射频碳氟等离子提升环氧树脂沿面耐电性能的研究被引量：1
《高压电器》2023年第9期133-141,共9页王晨旭 吴锡鹏 刘孝平 郭前鑫 高春阳 谢坤 李文栋 张冠军 
国家自然科学基金项目(52207172);南方电网公司科技项目(036100kk52210003)。
在绝缘系统中复合界面的沿面耐电强度远低于固体、气体或真空侧的击穿场强,这严重限制了电力设备的整体绝缘性能。表面氟化被证明是提升绝缘材料沿面耐电性能的有效手段,其中利用碳氟等离子体对绝缘材料进行表面氟化展现出独特的优势。...
关键词：四氟化碳 射频电容耦合等离子体 表面改性 沿面耐电性能 
氧化锆基固体酸碱催化水解氟利昂的研究进展
《进展》2023年第11期60-62,共3页常玉 
云南省教育厅科学研究基金项目:《分析化学》课程实施一体化教学改革的研究+2023J2033。
氟利昂因其优良的理化性质,在日常生活和工业中得到了广泛应用,同时带来了严重环境问题。本文综述了氟利昂无害化治理技术理论及优缺点,重点介绍了氧化锆基固体酸碱催化水解研究进展。四氟化碳被认为是最有害的全氟化物之一,温室效应明...
关键词：氟利昂 二氟二氯甲烷 四氟化碳 催化水解 
温室气体四氟化碳处理技术研究进展被引量：1
《能源环境保护》2023年第2期73-84,共12页朱烨林 郑谐 陈世杰 刘菀凝 艾曼 沈锋华 向开松 刘恢 
国家自然科学基金重点项目(52234011);国家重点研发项目(2022YFC3901100);国家自然科学基金创新研究群体项目(52121004)。
四氟化碳(CF_(4))是《京都协议书》规定与管控的典型非二氧化碳超强温室气体之一。随着铝电解、半导体等工业活动规模的不断扩大,CF_(4)排放量持续增加,加剧了全球气候变化,影响着人类赖以生存的环境质量,同时阻碍了相关产业的可持续发...
关键词：四氟化碳 源头减排 末端治理 物理回收 高效分解 
四氟化碳中三氟化氮杂质的热分解技术研究
《当代化工研究》2023年第5期182-184,共3页林德荣 
在集成电路制造中,四氟化碳(CF_(4))气体常用作硅片干法蚀刻和清洗剂,而被广泛用于微电子、太阳能、电池、火箭等领域。采用氟碳直接合成法制备四氟化碳时,三氟化氮等杂质的产生不可避免,并且这些强氧化剂又会影响四氟化碳的使用,所以...
关键词：四氟化碳 三氟化氮 杂质 高温热解 热解工艺 
电子级四氟化碳高效节能精馏技术的研究被引量：1
《当代化工研究》2022年第24期137-139,共3页阙祥育 
四氟化碳(CF_(4))是微电子行业中用量最大的等离子蚀刻气体之一。在电子级CF_(4)的制备工艺流程中,精馏提纯技术是CF_(4)气体纯度能否达到电子级的关键所在。目前,本公司自主研发的电子级四氟化碳系统制备技术已实现工业化量产,但精馏...
关键词：四氟化碳 精馏 提纯 高效 节能 分离 
氟化工专利精选
《化工生产与技术》2021年第1期46-47,共2页吴世清 
1种超低温混合制冷剂该制冷剂包括1类物质、2类物质和3类物质。其中1类物质质量分数分别为:5%~8%的异丁烷,25%~30%的四氟化碳,15%~18%的甲烷,10%~15%的氩气,3%~6%的氮气;2类物质五氟乙烷、丙烷、二氟甲烷中的1种或多种,质量分数为18%~30...
关键词：混合制冷剂 四氟化碳 三氟甲烷 超低温 氟化工 异丁烷 二氟甲烷 
极大规模集成电路含氟电子气体实现国产化
《中国机电工业》2020年第9期56-56,共1页
目前,黎明院高纯四氟化碳和六氟化硫的年产能可达2000吨,价格与进口同类产品相当,但性价比高,可完全实现对进口产品的替代。由中国化工黎明化工研究设计院(以下简称黎明院)承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺...
关键词：四氟化碳 六氟化硫 成套工艺 制造装备 进口同类产品 国家科技重大专项 性价比高 国产化 
黎明院承担的国家科技重大专项通过现场测试验收
《化学推进剂与高分子材料》2020年第4期75-75,共1页张金彪 
2020年5月14日,黎明院承担的国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备与成套工艺”之子项目“高纯四氟化碳和六氟化硫研发与中试”,顺利通过项目组的现场测试与评审,2项产品均满足立项要求。黎明院首席技术官牛学坤及科技部、课题...
关键词：四氟化碳 成套工艺 六氟化硫 电子气体 制造装备 评审会 经费使用情况 首席技术官 
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